激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

激光干涉仪的特点：
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角；
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器；
3. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米；
4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性；
5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架；
6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间。

激光干涉仪的保养与维护：
1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形； 
2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和混合液轻拭；
3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑；
4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳；
5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态；
6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。