螺杆真空泵与爪式真空泵同为干式真空泵，但由于各自的工作原理不同，也造成了各自结构上的差异，为获得尽量低的压力，两种泵都做成4级，但爪式泵级与级之间通过隔板分隔，而螺杆真空泵则是通过螺杆的交叉形成级间分隔的，因此两相比较存在较大的差异。
一、使用工艺上的不同：
1、螺杆真空泵的气体通道短，气体在级间的传送位置不变，有利于气体快速排出泵外和固体颗粒状物体的排出。
爪式泵由于存在级间隔板，气体通道长且弯曲，气体容易凝结并且易堵塞通道。
2、螺杆真空泵的泵体和转子为单一体，极易进行防腐处理。
爪泵的级间隔板几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也容易在装配时受损。
二、使用可靠性上的不同：
1、爪式真空泵由于存在级间隔板，转子和泵轴不能成为一体，转子为后装到轴上，为了安装和拆卸方便，配合又不能过紧，所以运转后容易出现滚键和转子松动的现象。
螺杆真空泵的轴和转子为整体铸造后加工成型，完全一体化，不存在装配问题。
2、爪式真空泵存在众多的间隙，而且每个间隙都是独立的，只要任意一个间隙出现问题，泵即不能正常工作。
螺杆真空泵只有排气端和转子间的间隙决定工作性能，而且转子与转子间的间隙是互相关联的，运转可靠性极高。
三、维修性上的不同：
1拆卸
爪式泵拆卸困难：由于多级结构，全部拆卸要多级分解，而转子拆卸是真正的难点，同时每拆卸，就会有不同程度的降低。即使简单的清洗也必须全部拆开，重新装配。
螺杆真空泵拆卸简单：螺杆泵的拆卸只需要拆掉后盖轴承即可将转子从前端抽出，极其简单。如果仅仅是为了清洗拆开，清洗后只需将转子装回泵体内即可，不需做任何调整。
2安装
爪式泵装配困难：爪泵安装时，4级转子要控制转子端面的8个间隙，以及8个转子的转子与转子的间隙，任意一个间隙调整不好都必须重新返工，想把转子装到轴上，也必须对转子敲击，容易损坏部件。
螺杆真空泵装配简单：螺杆泵装配时，只需控制螺杆排气端面与排气间壁的间隙，以及螺杆凹面的间隙，只需调整简单的两个间隙。