1 空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态(空态、静态、动态)下进行。
2 检测仪器的选用:应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计算器,在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力,粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。
3 采样点的规定:
1 限度的采样点数NL,见表.3;
表3 限度的采样点数NL表
测点数NL | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 |
洁净区面 积A(m2) | 2.1~ 6.0 | 6.1~ 12.0 | 12.1~ 20.0 | 20.1~ 30.0 | 30.1~ 42.0 | 42.1~ 56.0 | 56.1~ 72.0 | 72.1~ 90.0 | 90.1~ 110.0 |
注:1 在水平单向流时,面积A为与气流方向呈现垂直的活动空气截面的面积。 2 限度的采样点数NL=A0.5计算(四舍五进取整数)。 |
2 采样点应均匀分布于整面积内,并位于工作区的高度(距地坪0.8m的水平面),或设计单位、业主特指的位置。
B.4.4 采样量的确定:
1 每次采样的少采样量见表4
表4 每次采样的少采样量Vs(L)表
洁净度 等级 | 粒径(μm) | |||||
0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 5.0 | |
1 | 2000 | 8400 | — | — | — | — |
2 | 200 | 840 | 1960 | 5680 | — | — |
3 | 20 | 84 | 196 | 568 | 2400 | — |
4 | 2 | 8 | 20 | 57 | 240 | — |
5 | 2 | 2 | 2 | 6 | 24 | 680 |
6 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 68 |
7 | — | — | — | 2 | 2 | 7 |
8 | — | — | — | 2 | 2 | 2 |
9 | — | — | — | 2 | 2 | 2 |
2 每个采样点少采样时间为1min,采样量至少为2L;
3 每个洁净室(区)少采样次数为3次。当洁净区仅有个采样点时,则在该点至少采样3次;
4 对预期达到4级或更洁净的环境,采样量很大,可采用ISO14644—1附录F规定的顺序采样法。
5 检测采样的规定:
1 采样时采样口处的气流速度,应尽可能接近室内设计气流速度;
2 对单向流洁净室,其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向;对于非单向流洁净室,采样管口宜向上;
3 采样管必须干净,连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据答应长度确定,假如无规定时,不宜大于1.5m;
4 室内的测定职员必须穿洁净工作服,且不宜超过3名,并应阔别或位于采样点的下风侧静止不动或微动。
6 记录数据评价。中,当全室(区)测点为2~9点时,必须计算每个采样点的均匀粒子浓度Ci值、全部采样点的均匀粒子深度N及其标准差,导出95%置信上限值;采样点超过9点时,可采用算术均匀值N作为置信上限值。
1 每个采样点的均匀粒子浓度Ci应小于或即是洁净度等级规定的限值见表B.4.6-1。
表6-1 洁净度等级及悬浮粒子浓度限值
洁净度等级 | 大于或即是表中粒径D的浓度Cn(Pc/m3) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm | |
1 | 10 | 2 | — | — | — | — |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | — | — |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | — |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | — |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | — | — | — | 352000 | 83200 | 2930 |
8 | — | — | — | 3520000 | 832000 | 29300 |
9 | — | — | — | 35200000 | 8320000 | 293000 |
注: 1 本表仅表示了整数值的洁净度等级(N)悬浮粒子浓度的限值。 2 对于非整数洁净度等级,其对应于粒子粒径D(μm)的浓度限值(Cn),应按下列公式计算求取。 3 洁净度等级的粒径范围为0.5~5.0μm,用于定级的粒径数不应大于3个,且其粒径的顺序级差不应小于1.5倍。 |
2 全部采样点的均匀粒子浓度N的95%置信上限值,应小于或即是洁净度等级规定的限值。即:式中 N──室内各测点均匀含尘浓度,N=∑Ci/n;
n──测点数;
s──室内各测点均匀含尘浓度N的标准差:
t──置信度上限为95%时,单侧t分布的系数,见表B.4.6-2。
表6-2 t系数
点数 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7~9 |
t | 6.3 | 2.9 | 2.4 | 2.1 | 2.0 | 1.9 |
7 每次测试应做记录,并提交性能合格或分歧格的测试。测试应包括以下内容:
1 测试机构的名称、地址;
2 测试日期和测试者签名;
3 执行标准编号及标准实施日期;
4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图;
5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径(或沉降菌、浮游菌)、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压型;
6 丈量用的仪器的编号和标定证书;测试方式细则及测试中的特殊情况;
7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度(或沉降菌、浮游菌的菌落数);
8 对异常测试值进行说明及数据处理。